Yarı iletken endüstrisi, giderek artan zorlu koşullar altında hassasiyet, temizlik ve uzun süreli kararlılıkla çalışabilen bileşenler gerektirir. JINPAT LPT boş şaftlı kayma halkası bu zorluklar için özel olarak geliştirilmiş olup, gelişmiş yarı iletken işleme ekipmanlarında yaygın olarak bulunan yüksek sıcaklık ve yüksek vakum ortamlarında güvenilir döner iletim sunmaktadır. Dayanıklılık, kontaminasyon kontrolü ve elektriksel performansı önceliklendiren bir tasarımla, LPT serisi, küresel yarı iletken üreticilerini tutarlı üretim kalitesini korumada desteklemektedir.
Kayma halkasının SUS304'ten yapılmış paslanmaz çelik gövdesi, termal strese ve mekanik deformasyona karşı güçlü bir direnç sağlar. Ünitenin içinde, yüksek sıcaklığa dayanıklı alaşımlı iletken halkalar ve değerli metal kompozit kontaklar, 200°C'nin üzerindeki uzun süreli çalışma sırasında bile kararlı sinyal ve güç iletimi sağlar. İç yapı, verimli termal yönetim için tasarlanmıştır, genleşmeyi en aza indirir ve üretim döngüsü boyunca düşük elektriksel gürültüyü korur.
Vakum uyumluluğu, LPT serisinin bir diğer belirleyici özelliğidir. Yarı iletken süreçleri, kontaminasyonun sıfıra yakın azaltılması gereken sıkı kontrollü vakum ortamlarına bağlıdır. Bu standartları karşılamak için, kayma halkası, yağ buharı salınımı olasılığını ortadan kaldıran kuru, yağlamasız bir tasarım kullanır. Çok aşamalı sızdırmazlık sistemi ve düşük gaz salınımlı malzemeleri mükemmel hava geçirmezliği korur. Ek olarak, bakır iyonu içermeyen bir tasarım, metal kontaminasyonunu önler - gofret üretimi ve diğer hassas süreçlerde kritik bir avantajdır.
LPT boş şaftlı kayma halkası, halihazırda çok çeşitli yarı iletken üretim ekipmanlarında başarılı bir şekilde kullanılmaktadır. Termal dayanıklılık, mekanik kararlılık ve vakum temizliğinin kombinasyonu, güvenilir uzun ömürlü iletim çözümleri arayan ekipman üreticileri arasında güçlü bir tanınırlık kazanmıştır. İster gofret işleme sistemlerine, ister denetim modüllerine veya vakum döner cihazlarına entegre edilmiş olsun, LPT serisi, geliştirilmiş operasyonel kararlılığa ve süreç güvenilirliğine katkıda bulunur.
Yarı iletken teknolojileri gelişmeye devam ettikçe, ekipman talepleri daha da katılaşacaktır. JINPAT, gelişmiş malzemeler, hassas mühendislik ve titiz kontaminasyon kontrol standartları üzerine inşa edilmiş yüksek performanslı kayma halkası çözümleri geliştirerek küresel üreticileri desteklemeye devam etmektedir. LPT serisi, yarı iletken endüstrisinin dünya çapındaki gelişen ihtiyaçlarını karşılamak üzere tasarlanmış sağlam ve güvenilir bir döner arayüz sunarak bu taahhüdü temsil etmektedir.